在過去的幾年中,實踐證明,數(shù)碼顯微鏡在微電子行業(yè),尤其對印刷電路板 (PCB) 的檢測、質量控制和保證 (QC/QA) 以及失效分析 (FA) 等工作大有裨益。近,隨著技術的發(fā)展,數(shù)碼顯微鏡在檢測過程中,愈發(fā)顯現(xiàn)其強大功能和*實用性,進一步提高了工作效率。本文闡述了一些數(shù)碼顯微鏡功能的優(yōu)勢,例如,用于操作和分析的直觀軟件,快速、簡便的放大倍率切換方式,以及可靠調用參數(shù)的編碼功能。
將印刷電路板 (PCB) 當作樣品。
Leica DVM6 記錄的局部 PCB 樣品低放大倍率圖像。
顯示集成電路芯片和焊點的局部 PCB 三維圖像;利用 Leica DVM6 通過 LAS X EDOF(擴展景深)功能捕捉。亦可參見右側帶彩色 Z 標尺的相同圖像。
與左側帶彩色 Z 標尺相同的三維圖像。
Leica DVM6 數(shù)碼顯微鏡令用戶能夠更簡單、更快速地記錄高品質的可靠圖像數(shù)據(jù),實現(xiàn)快速分析,提高了微電子部件檢測等方面工作的效率。本報告探討了 Leica DVM6 的下述功能是如何實現(xiàn)更快速、更可靠的工作流程的:
用于顯微鏡操作和數(shù)據(jù)分析的直觀軟件;
高效、快速實現(xiàn)整個范圍內(12:1 至 2350:1)的放大倍率切換;
針對重要參數(shù)的編碼功能(自動追蹤和存儲),例如,載物臺、光學器件、照明、相機設置等,以便隨時快速調用;
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